我国在60年代末期开始变压吸附法的研制，在80年代后期才实现小型装置的工业化，以至于在70、80年代，我国的中、大型变压吸附制氧装置还主要依赖进口。经过十多年的发展，我国在变压吸附制氧技术上已取得较大的技术突破，特别在装置关键技术制氧专用吸附剂和程控阀门、以及动力设备的合理选择和配置上已全部实现国产化，并且在经济性能指标和产品技术性能上均优于国外同类产品，在无需高纯氧气的生产中，变压吸附制氧法已发展成为世界上获取低成本氧气的主要方法，它正在表现出强烈的竞争能力。

随着我国对变压吸附装置的不断研究和开发，在吸附剂和大口径程控蝶阀的开发生产取得突破性的发展，成功地研制并生产了在低压力条件下N2/O2分离系数更高、吸附容量更大、强度更高、使用寿命更强的新型专用制氧吸附剂，其N2/O2分离系数比传统的硅铝酸盐制氧吸附剂提高近两倍，对N2的吸附容量提高了近70%左右，该吸附剂的使用，比传统同类装置减少吸附剂装填量近50%，对空气中的O2收率明显提高，减少了鼓风量及抽真空量，节能效果相当明显，实现了变压吸附制氧装置单位氧气能耗≤0.35Kwh/Nm3的世界先进水平，为大型制氧装置的发展提供了有力的基础保证。

变压吸附VPSA制氧法具有工艺流程简单，制氧过程在常温常压下实现，装置运行安全可靠，建设投资省、单位氧气能耗低、自动化程度高、操作人员少（2人/班）、开停车时间短（一般在30min内能满足生产使用要求）、适应性强，氧气纯度可以在50%～95%之间任意调整，负荷可在30%～110%范围内随意变化。我国大型变压吸附制富氧装置单系列产氧量已达到15000Nm3/h（折合纯氧）的设计和生产能力，产品氧气纯度根据不同的使用工况可以在50%～95%O2之间任意确定，由于变压吸附的一个显著特点是：产品氧气纯度越低，原料空气中的氧收率越高，一套VPSA装置产品氧纯度的确定，主要考虑专用制氧吸附剂的产氧性能、后续用氧单元所需富氧的使用条件等因素，根据综合投资性能比来合理选择装置的产氧纯度；一般工业生产中装置氧气纯度的确定有两种：90%～93%O2和70%～80%O2； 先进的真空变压吸附（VPSA）工艺流程；新型专用制氧吸附剂：在低压力条件下N2/O2分离系数更高、吸附容量更大、强度更高。三偏心全金属扭矩程控蝶阀：300万次开关无泄漏，开关时间≤2秒，口径可达DN2400。高炉富氧喷煤：采用VPSA富氧装置供氧，氧气的综合生产成本在0.25元/（Nm3•100%O2）以内。变压吸附制氧法已发展成为世界上获取低成本氧气的主要方法，它正在表现出强烈的竞争能力。