变压吸附国内大型制氧设备早期都采用双极湿式真空泵，采用高压比流程（压比大于4），双极湿式真空泵和单级湿式真空泵对比有如负压高、能耗低等多种优势，但双极湿式真空泵也有售价偏高、二级小泵负载较大、级间止回阀容易损坏、安装复杂等劣势，现工艺流程改变国内外多采用低压比流程，综合考虑现国内大都采用单级湿式真空泵。目前，国外大型VPSA制氧装置绝大部分采用干式单级罗茨真空泵，减少了一台软水装置，对水资源是一种保护。
现国内VPSA制氧设备多采用“一拖二”的机组配备，即一台电机同时带动鼓风机和湿式真空泵运转，设备少配置合理，主机的稳定性也好。但国内鼓风机和真空泵转速较低，鼓风机和真空泵体积较大，同进口高速鼓风机和真空泵相比，占地多，效率低，振动也大。虽然变压吸附制氧因为设备少，故障相对较少，处理起来也比较容易，但与国外设备这种简捷高效的配置相比，设备增多故障点也随之增多，这就存在稳定性的差异。国外大型鼓风机的转速一般达到1200rpm,振动速度为17~18mm/s,国内转速仅为590 rpm，振动速度为11.2mm/s,国外鼓风机和真空泵的机械效率高于国内，国内外机加工能力有一定的差距。
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